氦检漏仪器的较小可检漏率（灵敏度），指的是在检漏装置在处于一个较佳的工作条件下（示漏气体采用的是一个大气压的纯氦），做“动态检漏”时能检出的较小漏孔的漏率。

1、较佳工作条件。

指被检镀膜设备部件的材料出气很少，且没有较大漏孔；检漏装置本身的参数调整到较佳工作状态等。

2、动态检漏。

指不用累积法进行检漏，检漏装置本身的真空抽气系统仍正常进行抽真空，装置的反应时长小于3s，3s当中的抽气系统的时间常数是小于一秒的；

3、较小可检。

指其信号是本底噪声的两倍；

4、漏孔的漏率。

指干燥空气（100kPa的压力）经漏孔通向真空端（远远低于100kPa的压力）的漏率。

对氦分压变化有反应的氦质谱检漏仪，为表征这种反应特性，较好给出检漏装置的较小可检浓度，即浓度灵敏度。所谓检漏装置的“浓度灵敏度”，指处在工作压力下（工作压力一般为10⁻²Pa~10⁻³Pa）的质谱室，使用该装置可检示的大气中的较小氦浓度的变化。而镀膜设备的氦质谱检漏仪中的“较小可检浓度”则为信号与装置噪声比为一或二时，当中氦的浓度。

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如氦检漏仪器，需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要进行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。